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超导磁体
低温真空设备

磁拉单晶超导磁体


磁拉单晶超导磁体:半导体集成电路用大尺寸单晶硅生长炉超导磁体,是节能、高效、稳定的获取磁场的方法。该超导磁体的研发和产业化可有力推动大尺寸硅片国产化进程,解决我国半导体大硅片行业卡脖子环节,为半导体核心基础材料的供给提供关键核心设备


12寸磁拉单晶超导磁体参数

分类

项目

技术指标

尺寸外形

外径

Φ2460mm

内径

Φ1600mm

本体高度

1325mm

中心磁场覆盖区域

Z轴高度≤320mm

重量

≤11吨

外观颜色

黑色

磁场性能

磁场形式

水平横向

额定中心磁场强度Bc

4000Gs

漏磁场分布

3m≤114Gs@Bc4000Gs

励磁时间

≤40min

允许电源故障时间

≤5s

冷却方式

液氦零蒸发

冷却温度

4.2K

 


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